• 主动隔振平台

      STACIS® III是一种灵活的高级主动隔振平台系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。

      更新时间:2021-06-11

      厂商性质:生产厂家

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    • 主动隔振系统Stage-Base 450

      TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。主动隔振系统Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主动消振系统。

      更新时间:2020-07-11

      厂商性质:生产厂家

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    • 气浮综合性主动隔振系统

      LaserTable-Base™气浮综合性主动隔振系统是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。

      更新时间:2020-07-11

      厂商性质:生产厂家

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    • 地面式主动隔振光学平台

      地面式主动隔振光学平台 通过将我们的不锈钢平台与独特的“提升罩”设计相结合,我们的隔振器可“支撑”平台,使工具在地面上方抬起小距离。

      更新时间:2020-07-11

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    • SEM主动隔振平台

      SEM主动隔振平台SEM-Base® VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜(SEM)以及许多聚焦离子束(FIB)和小型双光束仪器。

      更新时间:2020-07-11

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    • 主动隔振系统

      STACIS IIIc是STACIS III高级主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。

      更新时间:2021-06-11

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